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实验研究了在磁控溅射工艺的溅射功率和工作压强恒定的情况下，薄膜在基底表面的沉积及生长的过程。结果表明，在溅射参数恒定、Ti膜尚未连续的情况下，薄膜的覆盖率的对数与时间基本成正比关系，即薄膜的覆盖率随时间指数增加。在薄膜连续后，出现晶粒长大并合并的现象。薄膜的生长方式为先层状生长再岛状生长。
磁控溅射钛膜的沉积过程及表面形貌研究
【摘 要】
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实验研究了在磁控溅射工艺的溅射功率和工作压强恒定的情况下，薄膜在基底表面的沉积及生长的过程。结果表明，在溅射参数恒定、Ti膜尚未连续的情况下，薄膜的覆盖率的对数与时间基
【机 构】
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西华大学材料科学与工程学院,四川理工学院
【出 处】
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西华大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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“十五”国家863项目(No.2002AA324010)
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