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采用溶胶-凝胶法在Pt／TiO2／SiO2／Si衬底上制备了多种不同组分的（Pb0.3Sr0.7）1-xKxTiO3（PST）（x=0，1mol％，2．5mol％，5mol％）多层均匀薄膜，并研究了它们的介电调谐性能。发现掺杂后薄膜的相结构没有发生变化，晶粒尺寸明显减小，介电常数降低及介电损耗减小。1MHz时，随K含量从0增加至5m01％，薄膜的介电常数从841降低至539，而介电损耗由O．134减小到0．0576，其微波介电综合性能改善。