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用氧气代替空气中的部分或全部氮气可大大降低克劳斯硫回收及尾气处理装置的气体流量。对于新建装置,富氧技术可减小设备尺寸从而减少投资;对于改造项目,富氧技术是一个高投资效益的扩能方案。除经济优点外,富氧技术还可改善硫回收及尾气处理装置的操作,提高污染物分解率、硫回收率、操作可靠性和稳健性。富氧浓度可根据装置布局、处理能力、可利用空间、原料气组成和工况要求而定制。