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基于氧化锌／玻璃（ZnO／G1ass）结构的声表面波（SAW）器件可以用来制作性能优良的紫外探测器。使用有限元分析软件COMSOL Multiphysics仿真了该种结构的声表面波器件，并得到共S11参数。基于仿真结果，制备了相应的SAW器件，实验所用ZnO薄膜采用直流反应磁控溅射方法沉积，所制备的ZnO薄膜呈（0002）取向。基于该种结构的SAW紫外探测器对紫外光的反应时间仅3s，其紫外探测的灵敏度高达36．4×10-9／mW／cm2。