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为了解决准分子激光器在工作时产生的电磁干扰对激光器控制系统信号的影响，利用光纤的抗电磁干扰特性，采用光纤进行信号的传输，研制了用于信号传输的模拟和数字光纤传输模块和基于该模块的嵌入式准分子激光器控制系统。经测试，该系统模拟通道的-3dB带宽为直流到3MHz，非线性误差最大为1．2％，激光器在工作过程中，控制系统工作稳定、可靠。结果表明，该系统具有很好的抗电磁干扰能力。