【摘 要】
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InAs/GaSbⅡ类超晶格探测器是近年来国际上发展迅速的红外探测器,其优越性表现在高量子效率和高工作温度,以及良好的均匀性和较低的暗电流密度,因而受到广泛关注.报道了InAs/
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室
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InAs/GaSbⅡ类超晶格探测器是近年来国际上发展迅速的红外探测器,其优越性表现在高量子效率和高工作温度,以及良好的均匀性和较低的暗电流密度,因而受到广泛关注.报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长和器件性能.通过优化分子束外延生长工艺,包括生长温度和快门顺序等,获得了具原子级表面平整的中波InAs/GaSb超晶格材料,X射线衍射零级峰的双晶半峰宽为28.8″,晶格失配△a/a=1.5×10-4.研制的p-i-n单元探测器在77 K温度下电流响应率达到0.48 A/W,黑体探测率为4.54×1010 cmHz1/2W,峰值探测率达到1.75×1011cmHz1/2W.
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