扫描电镜数字图象的采集处理和分析

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<正> 扫描电镜模拟信号图象处理如微分,高通低通滤波,γ调制等都已成为常规配置,但是其功能相对于数字图象处理来说是很有限的,因此扫描电镜数字图处理日益受到重视。国外的研究始于70年代末,近几年来陆续报道了一些微机组成的联机图象处理系统。国内有关和扫描电镜联机的图象处理系统迄今未见报导。实现图象处理系统和扫描电镜联机的关键是一种专用的慢扫描接口。中科院科学仪器厂英特公司于1989年初研制成带慢扫描接口的联机图象处理系统EMI-1,并在北京大学电镜实验室成功地实现了和KYKY-1000B SEM的
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