【摘 要】
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生产高精度硅晶体的单晶炉,其上部的籽晶提升机构为转轴竖直安装的非对称低速旋转机构,生产过程中下面软轴的摆动幅度是衡量单晶炉性能的重要参数之一,如果摆动过大,将直接影
【机 构】
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西北工业大学旋转机械与风能装置测控研究所,西安创联新能源设备有限公司
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生产高精度硅晶体的单晶炉,其上部的籽晶提升机构为转轴竖直安装的非对称低速旋转机构,生产过程中下面软轴的摆动幅度是衡量单晶炉性能的重要参数之一,如果摆动过大,将直接影响所生产的硅晶体的质量。动不平衡是造成软轴摆动的重要原因之一,采用激光测振仪测量籽晶提升机构微小振动量,用影响系数法对单晶炉籽晶提升机构进行现场整机动平衡,减小了该机构振动对软体摆动的影响,提高了所拉晶体的质量。
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