2—重氮—1—萘醌—5—磺酸—聚乙二醇酯的合成及性能研究

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本文通过各种分子量范围的聚乙二醇与2-重氮-1-萘醌-5-磺酰氯(简称“215”-磺酰氯)按下式进行反应。式中,n为3~13的整数,作者对合成条件进行了探索。对所得的光敏剂作了波谱分析,并以这些光敏剂分别与线型酚醛树脂(软化点T<sub>S</sub>=125~134℃)及溶剂等配制成紫外正性光刻胶,对光刻胶的感光性能进行了研究。结果表明聚乙二醇-300,在30℃下与215~磺酰氯反应3小时,介质的pH=7~8,所得光敏剂用于正性光刻胶,胶的性能优良,感光速度快,分辨力为Iμm。未
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