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废气淋洗装置是多晶硅生产线的重要组成部分.本套废气淋洗装置充分改进了传统西门子法制取多晶硅废气淋洗的工艺,实现了机械化、自动化,具有自动化程度高,氯硅烷处理能力大,工艺稳定等优点.
多晶硅废气淋洗系统的应用
【摘 要】
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废气淋洗装置是多晶硅生产线的重要组成部分.本套废气淋洗装置充分改进了传统西门子法制取多晶硅废气淋洗的工艺,实现了机械化、自动化,具有自动化程度高,氯硅烷处理能力大,
【机 构】
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云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室,昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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2016年2期
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