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在化学镀铜溶液中，稳定剂有主配位剂、副反应抑制剂和第三类稳定剂三种类型。添加主配位剂和副反应抑制剂有利于提高铜沉积层质量，而添加第三类稳定剂既有减少铜无效消耗量的正面效应，又有降低铜沉积层质量的负面影响。本文还从理论上探讨离甲醛与第三类稳定剂的关系。
化学镀铜溶液中稳定剂和铜沉积层质量的关系
【摘 要】
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在化学镀铜溶液中，稳定剂有主配位剂、副反应抑制剂和第三类稳定剂三种类型。添加主配位剂和副反应抑制剂有利于提高铜沉积层质量，而添加第三类稳定剂既有减少铜无效消耗量的正
【机 构】
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西南电子电讯技术研究所
【出 处】
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印制电路信息
【发表日期】
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2000年3期
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