【摘 要】
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简要介绍了高分辨电子显微学的最新进展。主要表现在两个方面:(1)球差校正的高分辨透射电子显微学;(2)原子分辨率的扫描透射电子显微学(或原子序数衬度成像)。两种成像技术均
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简要介绍了高分辨电子显微学的最新进展。主要表现在两个方面:(1)球差校正的高分辨透射电子显微学;(2)原子分辨率的扫描透射电子显微学(或原子序数衬度成像)。两种成像技术均可达到亚埃的分辨率。介绍了这两种技术的各自特点及其在功能材料的微观结构缺陷表征、铁电薄膜的极性确定等方面的应用。随着亚埃分辨率的电子显微学的发展,它必将对材料科学、物理学、纳米科学、化学及生命科学等产生重大的影响。
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