GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究

来源 :福州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：biangei

【摘要】

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采用椭圆偏振光谱法,在1.5~6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的

【作者】

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俞金玲姜伟李书平刘达艺康俊勇

【机构】

：

福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系福建厦门福建厦门

【出处】

：

福州大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2007年S1期

【关键词】

：

椭圆偏振光谱 GAN 薄膜光学常数色散模型 spectroscopic ellipsometry GaN thin film optical cons

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采用椭圆偏振光谱法,在1.5~6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜.进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数.

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