激光衍射对刀矩孔倾斜角度的误差校正方法研究

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激光衍射对刀是通过检测两个一级衍射条纹峰值点间距来进行对刀间隙测量的一种方法。为了提取有效的衍射条纹图像, 在激光衍射对刀过程中需将衍射系统光轴倾斜, 导致对刀间隙所形成的矩孔相对于系统光轴不垂直, 即矩孔倾斜, 矩孔倾斜会使得对刀间隙检测结果不准确。为了研究矩孔倾斜对激光衍射对刀精度的影响, 研究建立了含有矩孔倾斜角度的激光衍射光强模型和一级次极大峰值点间距误差计算模型,提出了基于一级次极大峰值点间距的误差校正方法和倾斜方向判别方法。在相同实验条件下, 所建立的理论模型为有效提高激光衍射对刀精度提供了依据。
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