氢化非晶氮化硅薄膜的光学特性研究

来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：ustcer08005

【摘要】

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采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HWP-CVD)技术以SiH4和N2为反应气体沉积了氮化硅(SiN)薄膜,利用傅里叶红外吸收谱(FTIR)、紫外-可见透射谱(UV-VIS)等对薄膜的键合结构、

【作者】

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于威侯海虹王保柱刘丽辉傅广生

【机构】

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河北大学

【出处】

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河北大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

氢化非晶氮化硅薄膜螺旋波等离子体光学带隙化学气相沉积傅里叶红外吸收谱紫外-可见透射谱 silicon nitride films helicon w

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采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HWP-CVD)技术以SiH4和N2为反应气体沉积了氮化硅(SiN)薄膜,利用傅里叶红外吸收谱(FTIR)、紫外-可见透射谱(UV-VIS)等对薄膜的键合结构、光学带隙等参量进行了测量与分析.结果表明,采用HWP-CVD技术能在较低的衬底温度下制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si-N键合结构.适当提高N2/SiH4比例将有利于薄膜中H含量的降低.

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