【摘 要】
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采用射频磁控溅射工艺，在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx／ITO／PET多层薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）分析所制备薄膜的原始态、着色态和退
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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采用射频磁控溅射工艺，在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx／ITO／PET多层薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）分析所制备薄膜的原始态、着色态和退色态的微观结构、表面形貌及W元素的化合价态。结果表明：原始态、着色态及退色态的WO。薄膜均为非晶态；原始态薄膜表面存在较多孔洞，薄膜在LiClO4的乙腈溶液中进行电致变色反应，实验发现着退色态薄膜颜色可发生可逆变化，随Li^＋的注入和抽出，薄膜表面形貌发生明显变化；XPS分析进一步表明WOx薄膜在原始态中W元
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