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一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文)

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wsb398322830

【作 者】

：

彭玉鑫  高伟  金子純史  荒井義和  清水裕樹  冈本幸一 

【出 处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2011年05期

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