智能高精度温度控制退火炉的研制

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在集成光学领域中,光波导制备工艺中的退火不仅能显著提高波导的光学质量,而且能灵活地调节折射率分布的轮廓及其增量.我们专门研制了一种智能高精度退火炉.具有体积小,精度高,自动控制,操作方便等特点.整个仪器分为控制箱和加热箱两大部分,加热器放置在加热箱中...
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