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开发了氢气甚高频（60MHz）容性耦合放电的PIC／MC模型。在模型中考虑了带电粒子（e，H＋，H2＋，H3＋）与H2的21种碰撞反应过程，模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子（H＋，H2＋，H3＋）粒子密度和平均能量分布，并与频率为13．56MHz的放电结果进行了比较。结果表明，相对于频率13.56MHz的放电，氢气甚高频放电等离子体电势增高，导致两电极附近的电场增强；另外，两鞘层厚度变窄并且电子和H3＋离子平均能量减小，其总密度却增加。H3＋离子为氢气甚高频放电空间的主要离子，H2＋