高钴硬质合金基体上生长金刚石薄膜组织结构及成分的研究

来源 :矿冶工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：heheaixixi

【摘要】

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采用XRD,SEM,Raman光谱仪等分析检测手段,研究了YG15硬质合金基体经表面二步法浸蚀后,在其表面用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度等.结果表明:硬质合金

【作者】

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刘沙易丹青余志明

【机构】

：

中南大学

【出处】

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矿冶工程

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

金刚石薄膜硬质合金组织结构 diamond coatings cemented carbides morphology texture

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采用XRD,SEM,Raman光谱仪等分析检测手段,研究了YG15硬质合金基体经表面二步法浸蚀后,在其表面用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度等.结果表明:硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的变化,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态及化学纯度等有很大影响.CVD沉积温度从900 ℃降至800 ℃,后一温度下的金刚石薄膜的晶粒尺寸是前一温度下的(1)/(5).沉积温度降低至700 ℃左右时,薄膜的金刚石纯度大大降低.

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