一种提高光电倍增器光电阴极量子效率的方法

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianhaiyandml
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提出了一种可以提高光电倍增管光电阴极量子效率的方法。通过分析光电阴极的光电发射过程, 从提高光子吸收率Pa和光电子迁移至真空一侧材料表面的几率Pe出发, 确定可以在光电阴极膜层结构设计上增加合适的膜层, 该膜层具有高带隙和减反射的作用。由于光电倍增管的外壳通常为细长的玻璃管, 而常规的溅射设备为50mm的大靶, 直接使用大靶对细管内部镀膜, 效率低下且均匀性差。在常规大靶的基础上进行改造, 成功实现了在细管内部快速均匀镀膜。使用分光设备测试光电阴极的光谱响应, 结果表明, 改进产品的光电阴极量子效率从常规的25%提高至35%。
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