【摘 要】
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详细介绍了一种新近采用的先进半导体集成电路可靠性评价技术———TEG技术。对其基本概念、评价方法以及应用情况进行了详细的阐述,重点介绍了其中的WLR TEG可靠性在线检测
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所,
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详细介绍了一种新近采用的先进半导体集成电路可靠性评价技术———TEG技术。对其基本概念、评价方法以及应用情况进行了详细的阐述,重点介绍了其中的WLR TEG可靠性在线检测与控制技术;最后,对我国开展相关工作提出了切实可行的建议,以确保并提高我国军用半导体集成电路的固有可靠性水平,促进军用微电子技术的快速发展。
Introduced a newly adopted advanced semiconductor integrated circuit reliability evaluation technology --- TEG technology. The basic concepts, evaluation methods and applications are described in detail, and the WLR TEG reliability on-line detection and control technology is introduced emphatically. Finally, practical suggestions are put forward to carry out related work in our country so as to ensure and improve our country The inherent reliability of military semiconductor ICs promotes the rapid development of military microelectronics.
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