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半导体工艺中超高纯气的稳定供应技术
半导体工艺中超高纯气的稳定供应技术
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dfqq209
【摘 要】
:
新的半导体制造工艺要求高精度 ,具有可再现性的科学化的制造技术 ,因此对超高纯气的供应技术提出了更高要求
【作 者】
:
韩美
刘俊义
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
2000年02期
【关键词】
:
半导体制造工艺
超高纯气体
供应
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新的半导体制造工艺要求高精度 ,具有可再现性的科学化的制造技术 ,因此对超高纯气的供应技术提出了更高要求
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