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利用溶胶凝胶工艺在Pt电极上沉积了PZT薄膜，选用传统退火及其快速退火工艺制备两种Pt基底（CTA-Pt和RTA．Pt），并采用X射线衍射广角及其ω扫描技术分别研究了Pt电极退火工艺对溶胶凝胶PZT结构及其织构演化的影响。研究结果显示：在传统退火工艺制备Pt电极上沉积的薄膜为（111）择优取向，而在快速退火工艺制备Pt电极上沉积的薄膜表现为（100）织构；分析表明PZT薄膜的织构演化可能与Pt电极在不同退火工艺下的内应力差异有关。