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通过对宽光谱膜厚监控原理分析，设计出一套便携的嵌人式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440，采用Linux操作系统，使用跨平台Qt2开发可实时监控界面。系统通过USB光纤光谱仪采集光谱数据，S3C2440微控制器对采集的光谱数据通过宽光谱扫描、评价函数、单波长极值等多种方法进行综合处理，最终达到监控镀膜过程中的光学膜厚的目的。系统测试表明，该系统测量精度高、测量速度快且便于携带。