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本文描述了用物理气相沉积涂镀管内壁的一个装置。离子束平行轴进入管内，并撞击在穿过管的圆锥溅射靶上。因而来自溅射靶的材料沉积在管壁上。用这个装置给钢管内壁涂上银，给钽管内壁涂上铂。后者有效地防止钽管与酸接触时变脆。
溅射涂镀管内壁的装置
【摘 要】
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本文描述了用物理气相沉积涂镀管内壁的一个装置。离子束平行轴进入管内，并撞击在穿过管的圆锥溅射靶上。因而来自溅射靶的材料沉积在管壁上。用这个装置给钢管内壁涂上银，给钽
【出 处】
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国外核聚变与等离子体应用
【发表日期】
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1997年2期
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