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本文采用ＸＲＦ分析技术，用Ｃ语言设计运算软件，快速和精确地同时检测合金薄膜材料的质量厚度及组成含量，并呆计算合金膜的体积密度和线性厚度，检测结果的相对误差在３％左右。
XRF法定量分析合金薄膜材料的厚度及组成
【摘 要】
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本文采用ＸＲＦ分析技术，用Ｃ语言设计运算软件，快速和精确地同时检测合金薄膜材料的质量厚度及组成含量，并呆计算合金膜的体积密度和线性厚度，检测结果的相对误差在３％左右。
【机 构】
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电子科技大学信息材料工程学院
【出 处】
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分析科学学报
【发表日期】
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1995年4期
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