非晶硅薄膜在敏感器件上的应用

来源 :合肥工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:l040685
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本文叙述了氢化非晶硅薄膜在光敏和色敏传感器上的应用。讨论了非晶硅薄膜的制备和特性,以及非晶硅光敏和色敏传感器的结构和特性,也简述了非晶硅光敏和色敏传感器的某些可能的应用。 This article describes the application of hydrogenated amorphous silicon thin films on photosensitive and color-sensitive sensors. The preparation and properties of amorphous silicon thin films, the structure and characteristics of amorphous silicon photosensors and color sensors, and some possible applications of amorphous silicon photosensors and color sensors are also discussed.
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