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超音速微粒轰击是材料表而纳米化的重要手段,性能优异的专用设备是实现这一工艺的前提.为此,采用数值模拟分析的方法研制了超音速微粒轰击喷枪,在距喷枪出口50 mm处获得了平均约320 m/s的轰击粒子速度;在对机器人选型和控制系统设计的基础上,集成了超音速微粒轰击表面纳米化设备;应用该设备实现了对38CrSi中碳钢的表面纳米化处理,验证了研制设备的性能.