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微细电火花具备加工任何导电材料和大深径比微孔的能力。但是随着孔深度的增加，气泡和加工屑很难排出孔外，导致频繁的非正常放电，从而使得电火花常规放电状态下微孔的深径比有限，然而电极摇动可以为电火花狭小放电间隙提供一个非均匀的流场，提高了排屑能力，这有助于提高微孔的深径比。着重研究微孔加工在去离子水和油两种介质下，电极摇动参数和电参数对微孔深径比的影响。试验结果表明：电火花常规放电状态下微孔的深径比随着摇动半径和电容的增加而增加，摇动速度对微孔深径比则没有明显的影响，这为实际生产中加工大深径比微孔提供了参考依据