【摘 要】
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目前,高压工艺技术已经变得越来越成熟,其应用领域也越来越广泛.但是其 ESD 保护技术却一直受到狭窄的设计窗口,可靠性等问题困扰. 如何在现有高压工艺平台上,设计出满足要求
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(2015.150223)
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目前,高压工艺技术已经变得越来越成熟,其应用领域也越来越广泛.但是其 ESD 保护技术却一直受到狭窄的设计窗口,可靠性等问题困扰. 如何在现有高压工艺平台上,设计出满足要求的保护器件一直是高压工艺的难题.从开发的难易度考虑,LDMOS 是被广泛采用的器件.通过对利用 LDMOS 的寄生特性应用于 ESD 保护的机理进行分析,并指出其设计的难点和原因,针对性地提出优化方法,并以实例验证.
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