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流延坯片的叠层是多层陶瓷技术中最为重要的工艺之一。叠层工艺直接影响到电子器件三维结构(如通道、腔室及隔膜等)的质量。对叠层工艺如热压法叠层及其改进型技术、粘合基叠层、溶剂基叠层等进行综述,并对各种叠层方法的特点、研究进展及应用进行叙述。
多层流延坯片的叠层工艺研究进展
【摘 要】
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流延坯片的叠层是多层陶瓷技术中最为重要的工艺之一。叠层工艺直接影响到电子器件三维结构(如通道、腔室及隔膜等)的质量。对叠层工艺如热压法叠层及其改进型技术、粘合基叠
【机 构】
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沈阳大学辽宁省新型功能材料与化学工艺重点实验室
【出 处】
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兵器材料科学与工程
【发表日期】
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2012年04期
【基金项目】
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973计划（2011CB612209）
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