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采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Ag靶的方法在室温下制备了不同厚度的ZnO／Ag／ZnO多层膜。对样品进行了研究。结果表明：随着Ag层厚度的增加，ZnO（002）衍射峰的强度先增加后减小，Ag（111）衍射峰的强度增强，ZnO／Ag／ZnO多层膜的面电阻先减小后趋于稳定。ZnO膜厚度增加，Ag膜易形成晶状结构，ZnO／Ag／ZnO多层膜的透射峰向长波方向移动。ZnO（60nm）／Ag（11am）／ZnO（60nm）膜在554am处的透过率高达92．3％，面电阻为4.2Ω／□，品质常数φrc最佳，