论文部分内容阅读
Ｓｉ衬底上外廷ＧａＡｓ材料是微电子学研究的重要课题之一，本文介绍了以大直径的ＧａＡｓ／Ｓｉ材料取代ＧａＡｓ衬底的工艺技术，对Ｇｅ元素在ＧａＡｓ／Ｓｉ集成电路中的分布影响进行了俄歇电子能谱分析研究，并确定了该技术在大规模集成电路中的应用价值。
GaAs／Si衬底电路制备中Ge元素分布的研究
【摘 要】
：
Ｓｉ衬底上外廷ＧａＡｓ材料是微电子学研究的重要课题之一，本文介绍了以大直径的ＧａＡｓ／Ｓｉ材料取代ＧａＡｓ衬底的工艺技术，对Ｇｅ元素在ＧａＡｓ／Ｓｉ集成电路中的分布影响进行了俄歇电子能谱分析研究，并确定了该技术在大规模
【机 构】
：
东南大学
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
：
1994年3期
其他文献
为适应增大设备生产能力的需要，安阳钢铁集团有限责任公司无缝钢管厂对Φ７６ｍｍ轧管机组实施了“增速”改造。通过对比分析，选择了减少减速机速比的方法来达到轧管机增速的目的。其方
沥青公路的维修养护一直以来是公路建设的重要内容之一，尤其在目前国内沥青路面质量不高的情况下更是如此，采用合理的技术非常重要。本文即基于此目的对应用广泛的乳化沥青厂拌
目前,有多种算法利用定标场和布设的定标器估算幅相不平衡,但基于定标场和定标器的方法存在时间和空间上的局限性,不能满足常态化极化质量监测的需求。基于地物的散射统计特
在水上重大件的运输过程中，装卸环节尤为重要。针对装卸环节容易出现过度横倾等事故而且事故损失较为巨大的现实，利用Creator软件建立模型，LynXPrime面板配置acf文件，在Visual C＋＋2
介绍一种单线阴极以平行网状束导电极来发射、获取、偏转子电子的ＶＦＤ显示器的特性，制成的３０×６０ｍｍ＾２的显示器件，研究了用于大平面扁平显的间热式氧化物涂层阴极的电子发射源。
委托代理理论是现代企业理论中很重要的一种治理机制,企业要正常运行就必须建立一种合理的委托代理框架,用这个原理去分析我国国有企业产权改革,可以发现国有企业产权制度中
根据栅控枪的基本设计原理和整管的应用要求，设计了一种高导流系数、高压缩比和高直流工作电压的无截获栅控枪。说细地讨论了无截获栅控电子枪设计方案的选择和参数的确定。设
文章简述了真空开关新产品的开发前景，并具体介绍了目前在开发的真空限流式熔断器，带有石英砂填料跌落式熔断器的真空负荷开关，高电压大容量电子化限流熔断器和１１０ｋＶ双断口真空断路器
介绍示波管使用氧化钪分散型氧化物阴极的制造工艺和在增大电流密度条件下的寿命试验，取得较好的结果。这处新阴极能适用于高分辨率、高亮度阴极射线管。
详细介绍了冷张力减径机组的特点，冷减径率与材料应力的关系，冷张力减径机工艺参数计算及冷张力减径机组的应用实例。