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采用脉冲激光沉积制备了掺铒Al2O3／Si多层薄膜，在淀积过程中脉冲激光溅射产生的高能量Er原子渗透进入非晶硅层，并引入了额外的应力，在低退火温度下诱导形成纳米晶Si。利用纳米晶Si作为敏化剂有效地增强了Er3＋在Al2O3中的光致发光。样品微观结构和发光强度的关系表明，获得高密度和小尺寸的纳米晶Si和Er3＋处于良好的发光环境是实现优化发光的关键，最优化的Er3＋发光强度在退火温度为600℃的条件下得到。