数字式智能集成水位传感器的研究

来源 :水利水电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhp5211018

【摘要】

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在玻璃体表面用等离子体溅射形成的TiN薄膜具有优异的机械性能,TiN膜上的显微硬度可达20000N/mm2,电阻率仅为68×10-6Ω·cm,作为电容式水位传感的电极显示出很好的

【作者】

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赵龙章梁荣庆孟月东

【机构】

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扬州大学,复旦大学,中国科学院

【出处】

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水利水电技术

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

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TIN薄膜水位传感数字集成主传感智能补偿环境补偿传感传感元频率选择

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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在玻璃体表面用等离子体溅射形成的TiN薄膜具有优异的机械性能,TiN膜上的显微硬度可达20000N/mm2,电阻率仅为68×10-6Ω·cm,作为电容式水位传感的电极显示出很好的优势.用水位作为主传感、温度为环境补偿传感,在MCU里面记录传感元的数据和补偿特性,形成数字集成结构.智能补偿措施实现了高精度水位变送.在网络节点连接权向量域进行微弱信号提取,解决了提取信号的频率选择问题.

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