微机械角速率传感器的性能分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Baoji8
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中等精度的微机械角速率传感器具有成本低、可靠性高、体积小、重量轻等优点,在民用和军用领域有着广泛的应用前景,具有很强的前沿性;目前世界各国对其非常关注并投入了大量研制和开发费用,根据国际发展趋势和我国的需求,我们研制了静电驱动的振动轮式微机械陀螺仪,本文主要针对这处微机械陀螺仪的特性进行分析,从原理,动力学方程出发,推导出了此类陀螺的检测输入角速度灵敏度;开环、半环传递函数;交流反馈控制提取同相
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