论文部分内容阅读
RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力，作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低．驱动力大，可以工作在恶劣的环境等优点，使其成为近年来RF MEMS开关研究的一个热点。
电磁驱动RFMEMS开关的研究状况
【摘 要】
：
RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力，作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低．驱动力大，可以工
【机 构】
：
山东大学物理与微电子学院,中国科学院微电子研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2007年1期
其他文献
作为不可再生资源的开发者，煤矿企业必须寻求各种有效途径提高煤炭资源回收率。结合矿井生产技术水平和开采技术条件，超化煤矿通过优化工作面布置、正确选择采煤方法、探索新型
针对重庆市天弘矿业公司盐井一矿、二矿瓦斯综合利用方案的经济效益、社会效益和环境效益进行了较全面的分析,认为瓦斯综合利用对保证煤矿安全、变害为利、变废为宝及改善环