【摘 要】
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基于光纤加速度传感器高灵敏度、低成本与微型化的市场发展需求,本文采用MEMS技术设计制作了一种新型的高灵敏度光强型加速度传感器,介绍了其工作原理以及测试结果,结果表明
【机 构】
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基于光纤加速度传感器高灵敏度、低成本与微型化的市场发展需求,本文采用MEMS技术设计制作了一种新型的高灵敏度光强型加速度传感器,介绍了其工作原理以及测试结果,结果表明该加速度传感器具有良好的线性输出特性,该传感器的灵敏度可达0.9mv/g,线性度可达0.97,展现出了极有发展潜力的优良性能。与传统压电型等高灵敏度加速度传感器相比,该加速度传感器使用纯粹的光信号极大地避免了电磁干扰的影响,且利用MEMS技术制作加工,加工步骤简便,因此易于批量化生产,同时通过优化结构设计该传感器可应用于振动监测、惯性导航等诸
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