【摘 要】
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蓝宝石因为其生产技术成熟、稳定性好、性价比高而被广泛应用于光电领域,成为GaN基光电器件的主要衬底材料。传统的蓝宝石衬底生长GaN薄膜存在许多问题,如由晶格常数不同产生
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室,三安光电股份有限公司
【基金项目】
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河北省高层次人才资助项目百人计划项目(E2013100006);河北省科技计划资助项目(15211017D)
论文部分内容阅读
蓝宝石因为其生产技术成熟、稳定性好、性价比高而被广泛应用于光电领域,成为GaN基光电器件的主要衬底材料。传统的蓝宝石衬底生长GaN薄膜存在许多问题,如由晶格常数不同产生的晶格失配、热应力失配等,且GaN薄膜结晶质量较差、光线提取效率低。介绍了图形化蓝宝石衬底技术在制作Ga N基LED器件中的应用,比较了几种图形化衬底对LED的发光性能的影响。在图形化蓝宝石衬底上采用PVD法生长AlN薄膜,可以降低GaN薄膜的螺旋位错和刃位错、提高MOCVD生长效率、显著提高设备利用率。另外,介绍了蓝宝石衬底在SOS领域的应用,列出了SOS工艺对蓝宝石衬底的具体要求。蓝宝石作为一种重要的衬底材料,未来的发展前景会更加广阔。
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