激光化学气相沉积(LCVD)制取TiN薄膜

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研究了在W18Cr4V高速钢基体上,用CO2连续激光诱导化学气相沉积TiN薄膜的工艺方法.激光功能600W,在H2、N2、TiCl4反应系统中沉积出TiN薄膜,薄膜的颜色呈金黄色,显微硬度为2500HV.
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