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腐蚀挖槽和P、N型杂质一步掺杂制造晶闸管
腐蚀挖槽和P、N型杂质一步掺杂制造晶闸管
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cangzhe
【摘 要】
:
本文介绍了腐蚀挖槽和硅中P、N型杂质一步扩散掺杂的晶闸管制造工艺,应用该技术提高了产品的性能/价格比。
【作 者】
:
陈福元
金文新
吴忠龙
【机 构】
:
浙江大学功率器件研究所,浙江电焊机厂元件分厂杭州310027,杭州310027
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1993年04期
【关键词】
:
腐蚀挖槽
一步掺杂
晶闸管
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本文介绍了腐蚀挖槽和硅中P、N型杂质一步扩散掺杂的晶闸管制造工艺,应用该技术提高了产品的性能/价格比。
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