【摘 要】
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波面拟合分析是干涉测量技术中数据处理以得到所需信息和结果的一个重要环节。提出了一种通用的圆和环孔径波面拟合分析方法,选用在单位环域里正交的Zernike环多项式为拟合基
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所; 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209; 中国科学院研究生院; 北京100039; 四川成都610209;
【基金项目】
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光电技术研究所领域前沿部署课题(C06K003)
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波面拟合分析是干涉测量技术中数据处理以得到所需信息和结果的一个重要环节。提出了一种通用的圆和环孔径波面拟合分析方法,选用在单位环域里正交的Zernike环多项式为拟合基函数。对比分析结果不仅表明了所提出方法的有效性和通用性,而且显示出该方法可解决通常的基于Zernike圆多项式干涉图处理软件在拟合分析环孔径波前时存在的问题。
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