【摘 要】
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建立了电容式微超声传感器（cMUT）的有限元模型，通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析，研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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建立了电容式微超声传感器（cMUT）的有限元模型，通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析，研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参数的变化对传感器性能的影响。分析了电极参数与传感器吸合电压，静态电容，机电转换比以及机电耦合系数的关系，最后得到了优化的电极结构参数，即金属电极面积为传感器振动薄膜面积的一半时，传感器具有较低的吸合电压和较大带宽值及机电耦合系数。
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