【摘 要】
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基于氧含量对纳米复合结构CrAlSiN 涂层性能的影响,采用电弧离子镀技术在3.0Pa 气压下通入不同比例的氧氮气流沉积CrAlSiON 涂层,并对涂层做不同温度的退火处理,对比涂层硬度
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基于氧含量对纳米复合结构CrAlSiN 涂层性能的影响,采用电弧离子镀技术在3.0Pa 气压下通入不同比例的氧氮气流沉积CrAlSiON 涂层,并对涂层做不同温度的退火处理,对比涂层硬度和结合力的变化.800 ～ 950℃温度下退火后,可以释放涂层中的残余应力,提高涂层的硬度,且不影响涂层的结合力.但1100℃退火后,涂层的硬度降低明显,且通过划痕测试可以发现,涂层完全失效.
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