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在对皮秒激光划片加工所涉及的基本原理和设备进行简单介绍的基础上,对红外焦平面组件封装中常涉及的一些材料的特点及其与皮秒激光束的作用机理进行了梳理。通过优化激光参数设置提高了划片效率并保证了划片质量;通过改进工夹具避免了金属层损伤且改善了操作方便性。
红外焦平面组件封装中的皮秒激光划片工艺(下)
【摘 要】
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在对皮秒激光划片加工所涉及的基本原理和设备进行简单介绍的基础上,对红外焦平面组件封装中常涉及的一些材料的特点及其与皮秒激光束的作用机理进行了梳理。通过优化激光参
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2019年11期
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