阳极氧化制备硅基TiO2纳米管阵列及形貌表征

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mwj

【摘要】

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【作者】

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李坚郭丽芳李廷鱼段淑斐李刚

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

TiO2纳米管阵列（NTA）阳极氧化硅基底薄膜磁控溅射乙二醇

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(61674113,51622507,61471255);山西省自然科学基金资助项目(2016011040);山西省高校科技创新研究项目(2016138)

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