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Hybrid Simulation of Duty Cycle Influences on Pulse Modulated RF SiH4/Ar Discharge
Hybrid Simulation of Duty Cycle Influences on Pulse Modulated RF SiH4/Ar Discharge
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a1263951733
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
WANG Xifeng
SONG Yuanhong
ZHAO
【机 构】
:
School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology,Dalian 116024, Chin
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2016年4期
【关键词】
:
hybrid model
EEDF
pulse modulation
SiH4/Ar mixture
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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