Varian联合公司参加DRAM材料研究小组

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据《国际半导体》(美)1994年第4期报道,Varian联合公司(美国加洲PaloAlto)已经参加美国设备商和DRAM存储器芯片生产厂商联合组成的一个小组,由美国政府超前研究计划部和五个成员小组共同投资1千万美元,开发先进的介质材料(见“SI”93年第6期第18页)。研究高介质常数铁 According to International Semiconductor (USA) No. 4, 1994, Varian Associates (Palo Alto, CA) has joined a team of U.S. equipment makers and DRAM memory chip makers, led by the U.S. Government’s Advanced Research and Planning Division and five A group of members jointly invested 10 million U.S. dollars to develop advanced media materials (see SI, No. 6, 1993, p. 18). Research high dielectric constant iron
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