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采用电化学原子层外延法（ECALE）在Au电极上成功地制备了Bi2Te3化合物热电薄膜。通过循环伏安扫描研究Te和Bi在Au衬底上的电化学特性。使用自动沉积系统交替欠电位沉积Te、Bi原子层200个循环获得沉积物。XRD、EDX和FESEM测试结果表明循环沉积200层后得到的沉积物Bi和Te的化学计量比为2：3。且是Bi2Te3薄膜化合物。而非单质Bi和Te的简单混合；薄膜均匀、致密、平整且可重复性好。以（015）为最优取向外延生长的。